徠卡顯微鏡-掃描探針顯微鏡（SPM）
徠卡體視顯微鏡80年代韌，BMng和Robe門發明了掃描隧道顯微鏡（scaMn噸Tunml比8micN飄ope，STM），從此改變了顯微鏡領域的面貌*5TM是一個不斷發展的探針顯微鏡（Probe mlcr毗op）家族成員之一。探針顯微針是用一特殊金屬針在表面掃描，徠卡體視顯微鏡通過閱量探針與表面的相互作用而探究出表面的形貌。sTM的問世是由于需要一種儀器來探測半導體表面氧化物的分布。徠卡體視顯微鏡滿足了這種需要，通過測量金屬針與表面之間的電子隧道電流可以監泅金屬針一表面的距離，從而反映出表面的高低起伏。幾年以后，BLn噸及其同事又宣布，探針顯檄鏡家族的第二個成員一掃描力顯微鏡（Scannln8fo比e mieusc毗，SFM）問世，3PM亦稱原子力顯微鏡（Atomicfo比e mic忱AFM）。SFM比STM更加靈活便通，通過選擇不同類型的力（離子斥力，靜電力、van der waal力、磁力和摩擦力等）便能制備成各種探針顯微欽，1986年B比n8及其同事榮獲諾貝爾物理學獎。
徠卡體視顯微鏡80年代末，sTM開始有商品出售，90年代初，sFM也出現于市場，并且更多類型的sFM在發展。值得一提的是我國也能生產探針顯微鏡，也有商品出售。
徠卡體視顯微鏡按成傷原理，掃描探針顯微鏡是一種探針技術，并不局顯微鏡家族。但由于它對于表面的高分辨率，在其成像過程對標本表面損傷小，很快便得到了生物學家和生物物理學家的重視，并被應用于生物界多方面研究。STM和SFM都能在適當的情況下，得到表面形貌分辨率達原子級的圖像。徠卡體視顯微鏡在氣體及液體情況下部可應用。因此對于生物顯微鏡標本表面在生理情況下能提供表面的形貌。
徠卡體視顯微鏡所有的掃描探針顯微鏡都具有某些共同特點。所有的儀器都有一個探針和一個觀測表面。兩者相距十分近。徠卡體視顯微鏡通過某種壓電裝置，使兩者相對掃描。為檢測探針與表面的相互作用，還需要一個電路裝置。這便是掃描探針顯微鏡的大致結構，而探針與表面相互作用的性質便決定了掃描探針顯微鏡的類型。
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